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Kantenisolation Von Solarwafern Haldan David

Kantenisolation Von Solarwafern

Haldan David

Published April 23rd 2014
ISBN : 9783639626063
Paperback
64 pages
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 About the Book 

Kantenisolation von monokristallinen Solarwafern auf Basis von thermisch angeregten Atzpasten mittels CO2-Laser. Uber Anregung einer KOH-Paste wurde selektiv Silizium am Rand eines Wafer zur Erzeugung einer Isolationskante geatzt. In Abhangigkeit desMoreKantenisolation von monokristallinen Solarwafern auf Basis von thermisch angeregten Atzpasten mittels CO2-Laser. Uber Anregung einer KOH-Paste wurde selektiv Silizium am Rand eines Wafer zur Erzeugung einer Isolationskante geatzt. In Abhangigkeit des Isolationsgrades wurden die Spurbreiten der aufgetragenenen Paste sowie die Laserparameter Intensitat und Vorschubgeschindigkeit untersucht. Dabei wurde gezeigt, dass die Wafer unter bestimmten Parameter isoliert werden konnen.